Tóm tắt: Trong nghiên cứu này, ba phương pháp phân tích: (1) nội chuẩn (Internal Standardization – IS); (2) ngoại chuẩn (External Calibration – EC); và (3) pha loãng đồng vị (Isotope Dilution – ID) được áp dụng đồng thời để xác định chính xác hàm lượng của 14 nguyên tố đất hiếm REEs trong ba mẫu chuẩn địa chất: BHVO-2, BCR-2 và NIST 2711a bằng ICP-MS. Các thí nghiệm hiệu chuẩn trong kỹ thuật ID như hiệu chuẩn hàm lượng và độ phổ biến đồng vị tương đối của các dung dịch spike đã được tiến hành bằng thực nghiệm. Bên cạnh đó, nhiễu phổ khối, phân đoạn khối trong ICP-MS cũng được khảo sát, hiệu chỉnh và bình luận. Kết quả thu được có độ chính xác (< 10%) và độ lặp lại rất tốt (< 5%). Quy trình được đề xuất qua nghiên cứu này có thể áp dụng được cho hầu hết các dạng mẫu như trầm tích, sinh học, khảo cổ, thiên thạch, v.v.., ngoại trừ thủ tục phá mẫu và hệ số pha loãng là khác nhau đối với từng loại mẫu.
Từ khoá: ICP-MS; Nội chuẩn (IS); Ngoại chuẩn (EC); Pha loãng đồng vị (ID); Các nguyên tố đất hiếm (REEs)