Tóm tắt: Hiện nay, việc sử dụng bức xạ trong công nghiệp đang rất phổ biến tại Việt Nam. Trong đó, có các ứng dụng bức xạ beta, gamma năng lượng thấp hoặc tia X để đo và kiểm soát bề dày sản phẩm như giấy, màng nhựa, lá nhôm, thép, màng mỏng trong công nghiệp, vv. Tuy nhiên phần lớn thiết bị, hệ thống kiểm tra bề dày vật liệu hiện nay tại Việt Nam chủ yếu được nhập từ nước ngoài với giá thành khá cao. Do đó, nhu cầu nội địa hóa các thiết bị đo độ dày tự động bằng nguồn bức xạc đang rất được quan tâm trong các ngành công nghiệp. Bài báo trình bày kết quả nghiên cứu, xây dựng phương pháp và đưa ra các phương trình đường chuẩn đo bề dày của các vật liệu có hệ số Z nhỏ (nhôm, giấy, silic, …) sử dụng phương pháp truyền qua của bức xạ beta.
Từ khóa: chế tạo thiết bị bức xạ, bức xạ beta kiểm tra bề dày vật liệu, vật liệu có Z nhỏ.